钛阳极优缺点之更稳定的制程管控

　　使用钛阳极，可以使电镀液成分维持更为稳定的状态，这是使用氧化铜粉添加带来的益处。

　　一方面，由于磷铜球表面磷化膜厚度难以完美控制，在避免磷化膜过厚从而导致磷铜球钝化的前提下，磷铜球往往出现会过度溶解的状况，也就导致药水中铜离子浓度的持续升高。铜离子浓度对于镀孔TP值起了至关重要的影响，因此铜离子浓度存在波动，会一定程度上影响镀孔效果的稳定性。同时，磷铜球的溶解过程中，也会额外消耗镀液中的氯离子。氯离子的波动一方面会反作用于磷化膜的厚度，另一方面也会使电镀添加剂的效果出现波动。使用钛阳极则不会出现此种情况，只需要严格控制好氧化铜粉的添加量，就可以完全控制住铜离子浓度；同时，氯离子本身的浓度也可以维持在非常稳定的状态。

　　另一方面，使用磷铜球更容易造成镀液的污染，从而导致电镀添加剂的提前失效。磷铜球的加工采用的是熔炼和轧制的方法来制备的，而氧化铜粉是将铜原料溶解在溶液中，并在溶液中进一步提纯和沉淀出氧化铜前驱体，最后经过煅烧制取氧化铜粉。相比两个加工过程，氧化铜粉的加工过程更便于原料纯度的控制。相对而言，在具备良好管控条件下，氧化铜粉中的杂质含量会低于磷铜球。在长期使用过程中，不管是磷铜球还是氧化铜粉，其中杂质会溶解并累积在电镀液中。电镀添加剂往往对于电镀液中杂质离子的含量相当敏感，当电镀液中的杂质离子达到一定的浓度，就会影响电镀添加剂的效果，从而对电镀效果产生不良影响。因此，使用钛阳极的电镀体系，可以使槽液维持在相对较低的污染状态，使槽液寿命更为持久，不仅减少了镀液提前失效造成的配槽的额外成本，在使用过程中对于杂质的影响也会更为放心。