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钛阳极新的发展和展望之高电流密度填孔电镀的应用

发布时间: 2022-11-23 浏览:73

  使用不溶性钛阳极,可以提升电镀的电流密度,从而增加电镀设备的产能,这只是钛阳极具备生产效率的前提条件。但是,这个优点要真正落地,需要设备设计以及相应的电镀添加剂的配合。原先由于电镀添加剂的限制,使用钛阳极并没有能真正提升很多填孔制程的电流密度(高电流密度无法完成填孔),因此钛阳极并没有真正在提高生产效率上与磷铜球拉开差距。最近二三年来,随着高电流密度填孔药水的成熟和推广,可以将填孔电流密度提升2~3倍(从原先不超过2 ASD提升到5~6 ASD)。

  针对高速填孔电镀的需求,钛阳极的涂层设计上也需要进行相应调整,主要针对两方面:一方面是需要设计出适应这种新型电镀添加剂的涂层,使电镀添加剂的消耗量维持在合理水平(由于新的电镀条件使用了更高的电流密度和更高的药水温度,使电镀添加剂尤其是光亮剂的消耗量水准有了显著的增加,这就需要阳极本身对于电镀添加剂的消耗量水准需要进行一定的削减以平衡电镀成本);另一方面,更高的电流密度导致涂层寿命的缩短,这就需要对涂层设计进行调整,使涂层结构稳定并延长涂层的使用寿命。